அலுமினியம் நைட்ரைடு குரூசிபிள் ALN அலுமினியம் க்ரூசிபிள்
தயாரிப்பு வழங்கல்
AlN அலுமினாவின் வெப்பக் குறைப்பு அல்லது அலுமினாவின் நேரடி நைட்ரைடு மூலம் ஒருங்கிணைக்கப்படுகிறது.அதன் அடர்த்தி 3.26 பதிவு செய்யப்பட்டு மார்க் மானிட்டர்-3 ஆல் பாதுகாக்கப்படுகிறது, இருப்பினும் அது உருகவில்லை, வளிமண்டலத்தில் 2500 °C க்கு மேல் சிதைகிறது.பொருள் சக பிணைப்பு மற்றும் திரவ-உருவாக்கும் சேர்க்கையின் உதவியின்றி சின்டரிங் செய்வதை எதிர்க்கிறது.பொதுவாக, Y 2 O 3 அல்லது CaO போன்ற ஆக்சைடுகள் 1600 மற்றும் 1900 °C வெப்பநிலையில் சின்டரிங் அடைய அனுமதிக்கின்றன.
அலுமினியம் நைட்ரைடு சிறந்த விரிவான செயல்திறன் கொண்ட ஒரு பீங்கான் பொருளாகும், மேலும் அதன் ஆராய்ச்சி நூறு ஆண்டுகளுக்கு முந்தையது.இது F. Birgeler மற்றும் A. Geuhter ஆகியோரால் ஆனது 1862 இல் கண்டுபிடிக்கப்பட்டது, மேலும் 1877 இல் JW MalletS ஆல் அலுமினியம் நைட்ரைடு முதல் முறையாக ஒருங்கிணைக்கப்பட்டது, ஆனால் இது ரசாயன உரமாகப் பயன்படுத்தப்பட்ட 100 ஆண்டுகளுக்கும் மேலாக நடைமுறையில் பயன்படுத்தப்படவில்லை. .
அலுமினியம் நைட்ரைடு ஒரு கோவலன்ட் சேர்மமாக இருப்பதால், சிறிய சுய-பரவல் குணகம் மற்றும் அதிக உருகுநிலையுடன், சின்டரிங் செய்வது கடினம்.1950 களில்தான் அலுமினிய நைட்ரைடு மட்பாண்டங்கள் முதன்முறையாக வெற்றிகரமாக தயாரிக்கப்பட்டு தூய இரும்பு, அலுமினியம் மற்றும் அலுமினிய கலவையை உருகுவதில் பயனற்ற பொருளாகப் பயன்படுத்தப்பட்டன.1970 களில் இருந்து, ஆராய்ச்சியின் ஆழத்துடன், அலுமினிய நைட்ரைட்டின் தயாரிப்பு செயல்முறை பெருகிய முறையில் முதிர்ச்சியடைந்துள்ளது, மேலும் அதன் பயன்பாட்டின் நோக்கம் விரிவடைந்து வருகிறது.குறிப்பாக 21 ஆம் நூற்றாண்டில் நுழைந்ததில் இருந்து, மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் தொழில்நுட்பம், மின்னணு இயந்திரம் மற்றும் மின்னணு பாகங்கள் ஆகியவற்றின் விரைவான வளர்ச்சியுடன், மினியேட்டரைசேஷன், இலகுரக, ஒருங்கிணைப்பு மற்றும் அதிக நம்பகத்தன்மை மற்றும் அதிக சக்தி வெளியீட்டு திசையில், அடி மூலக்கூறு மற்றும் பேக்கேஜிங் பொருட்களின் மேலும் சிக்கலான சாதனங்கள் வெப்பத்தை சிதறடிக்கும். அலுமினியம் நைட்ரைடு தொழில்துறையின் தீவிர வளர்ச்சியை மேலும் மேம்படுத்துவதற்கு அதிக தேவைகள்.
முக்கிய அம்சங்கள்
AlN பெரும்பாலான உருகிய உலோகங்கள், குறிப்பாக அலுமினியம், லித்தியம் மற்றும் தாமிரத்தின் அரிப்பை எதிர்க்கிறது
குளோரைடுகள் மற்றும் கிரையோலைட் உட்பட உருகிய உப்பின் பெரும்பாலான அரிப்பை இது எதிர்க்கும்
பீங்கான் பொருட்களின் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் (பெரிலியம் ஆக்சைடுக்குப் பிறகு)
அதிக அளவு எதிர்ப்புத்திறன்
உயர் மின்கடத்தா வலிமை
இது அமிலம் மற்றும் காரத்தால் அரிக்கப்படுகிறது
தூள் வடிவில், நீர் அல்லது ஈரப்பதம் ஈரப்பதத்தால் எளிதில் ஹைட்ரோலைஸ் செய்யப்படுகிறது
முக்கிய விண்ணப்பம்
1, பைசோ எலக்ட்ரிக் சாதன பயன்பாடு
அலுமினியம் நைட்ரைடு அதிக எதிர்ப்புத்திறன், அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் (8-10 மடங்கு Al2O3) மற்றும் சிலிக்கான் போன்ற குறைந்த விரிவாக்க குணகம் கொண்டது, இது அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அதிக சக்தி கொண்ட மின்னணு சாதனங்களுக்கு சிறந்த பொருளாகும்.
2, எலக்ட்ரானிக் பேக்கேஜிங் அடி மூலக்கூறு
பொதுவாக பயன்படுத்தப்படும் பீங்கான் அடி மூலக்கூறு பொருட்கள் பெரிலியம் ஆக்சைடு, அலுமினா, அலுமினியம் நைட்ரைடு போன்றவை ஆகும். இதில் அலுமினா பீங்கான் அடி மூலக்கூறு குறைந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்டது, வெப்ப விரிவாக்க குணகம் சிலிக்கானுடன் பொருந்தவில்லை;பெரிலியம் ஆக்சைடு சிறந்த பண்புகளைக் கொண்டிருந்தாலும், அதன் தூள் அதிக நச்சுத்தன்மை கொண்டது.
அடி மூலக்கூறுப் பொருட்களாகப் பயன்படுத்தக்கூடிய தற்போதுள்ள பீங்கான் பொருட்களில், சிலிக்கான் நைட்ரைடு பீங்கான் அதிக வளைக்கும் வலிமை, நல்ல உடைகள் எதிர்ப்பு, சிறந்த விரிவான இயந்திர செயல்திறன் மற்றும் சிறிய வெப்ப விரிவாக்க குணகம் கொண்ட பீங்கான் பொருள் ஆகும்.அலுமினியம் நைட்ரைடு மட்பாண்டங்கள் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன், நல்ல வெப்ப தாக்க எதிர்ப்பு மற்றும் அதிக வெப்பநிலையில் நல்ல இயந்திர பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன.செயல்திறனைப் பொறுத்தவரை, அலுமினியம் நைட்ரைடு மற்றும் சிலிக்கான் நைட்ரைடு ஆகியவை தற்போது மின்னணு பேக்கேஜிங் அடி மூலக்கூறுகளுக்கு மிகவும் பொருத்தமான பொருட்களாகும், ஆனால் அவற்றின் விலை மிகவும் அதிகமாக உள்ளது என்பதும் பொதுவான பிரச்சனையாகும்.
3, மற்றும் ஒளிரும் பொருட்களுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது
அலுமினியம் நைட்ரைட்டின் (AlN) நேரடி பேண்ட்கேப் இடைவெளியின் அதிகபட்ச அகலம் 6.2 eV ஆகும், இது மறைமுக பேண்ட்கேப் குறைக்கடத்தியுடன் ஒப்பிடும்போது அதிக ஒளிமின்னழுத்த மாற்று திறனைக் கொண்டுள்ளது.AlN ஒரு முக்கியமான நீல ஒளி மற்றும் UV ஒளி-உமிழும் பொருளாக, இது UV / ஆழமான UV ஒளி-உமிழும் டையோடு, UV லேசர் டையோடு மற்றும் UV டிடெக்டருக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.மேலும், AlN ஆனது GaN மற்றும் InN போன்ற குழு III நைட்ரைடுகளுடன் தொடர்ச்சியான திடமான தீர்வுகளை உருவாக்க முடியும், மேலும் அதன் மும்மை அல்லது குவாட்டர்னரி அலாய் அதன் பேண்ட் இடைவெளியை புலப்படும் முதல் ஆழமான புற ஊதா பட்டைகள் வரை தொடர்ந்து சரிசெய்து, இது ஒரு முக்கியமான உயர்-செயல்திறன் ஒளிரும் பொருளாக ஆக்குகிறது.
4, இது அடி மூலக்கூறு பொருட்களுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது
AlN படிகங்கள் GaN, AlGaN மற்றும் AlN எபிடாக்சியல் பொருட்களுக்கு சிறந்த அடி மூலக்கூறு ஆகும்.சபையர் அல்லது SiC அடி மூலக்கூறுடன் ஒப்பிடும்போது, AlN ஆனது GaN உடன் அதிக வெப்பப் பொருத்தத்தைக் கொண்டுள்ளது, அதிக இரசாயன இணக்கத்தன்மை மற்றும் அடி மூலக்கூறு மற்றும் எபிடாக்சியல் அடுக்குக்கு இடையே குறைந்த அழுத்தத்தைக் கொண்டுள்ளது.எனவே, AlN படிகத்தை GaN எபிடாக்சியல் அடி மூலக்கூறாகப் பயன்படுத்தினால், அது சாதனத்தில் உள்ள குறைபாடு அடர்த்தியை வெகுவாகக் குறைக்கலாம், சாதனத்தின் செயல்திறனை மேம்படுத்தலாம், மேலும் அதிக வெப்பநிலை, அதிக அதிர்வெண் மற்றும் அதிக சக்தி கொண்ட எலக்ட்ரானிக் தயாரிப்பில் நல்ல பயன்பாட்டு வாய்ப்பு உள்ளது. சாதனங்கள்.
கூடுதலாக, AlN படிகத்துடன் கூடிய AlGaN எபிடாக்சியல் மெட்டீரியல் அடி மூலக்கூறு உயர் அலுமினியம் (Al) கூறுகளாக இருப்பதால், நைட்ரைடு எபிடாக்சியல் லேயரில் உள்ள குறைபாடு அடர்த்தியை திறம்பட குறைக்கலாம், மேலும் நைட்ரைடு குறைக்கடத்தி சாதனத்தின் செயல்திறன் மற்றும் சேவை வாழ்க்கையை பெரிதும் மேம்படுத்தலாம்.AlGaN அடிப்படையிலான உயர்தர தினசரி-குருட்டு கண்டறிதல் வெற்றிகரமாக பயன்படுத்தப்பட்டது.
5, மட்பாண்டங்கள் மற்றும் பயனற்ற பொருட்களில் பயன்படுத்தப்படுகிறது
அலுமினியம் நைட்ரைடு கட்டமைப்பு மட்பாண்டங்கள், தயாரிக்கப்பட்ட அலுமினிய நைட்ரைடு மட்பாண்டங்கள், நல்ல இயந்திர பண்புகள் மட்டுமின்றி, மடிப்பு வலிமை Al2O3 மற்றும் BeO பீங்கான்கள் விட அதிகமாக உள்ளது, அதிக கடினத்தன்மை, ஆனால் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு.AlN பீங்கான் வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றைப் பயன்படுத்தி, க்ரூசிபிள் மற்றும் அல் ஆவியாதல் தட்டு போன்ற உயர் வெப்பநிலை அரிப்பை எதிர்க்கும் பாகங்களை உருவாக்க இதைப் பயன்படுத்தலாம்.கூடுதலாக, தூய AlN மட்பாண்டங்கள் நிறமற்ற வெளிப்படையான படிகங்கள், சிறந்த ஒளியியல் பண்புகள், மற்றும் உயர் வெப்பநிலை அகச்சிவப்பு சாளரம் மற்றும் வெளிப்படையான மட்பாண்ட உற்பத்தி மின்னணு ஆப்டிகல் சாதனங்களுக்கு வெப்ப எதிர்ப்பு பூச்சு பயன்படுத்தப்படும்.
6. கலவைகள்
எபோக்சி பிசின் / AlN கலவைப் பொருள், ஒரு பேக்கேஜிங் பொருளாக, நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வெப்பச் சிதறல் திறன் தேவைப்படுகிறது, மேலும் இந்தத் தேவை பெருகிய முறையில் கடுமையாக உள்ளது.நல்ல இரசாயன பண்புகள் மற்றும் இயந்திர நிலைத்தன்மை கொண்ட பாலிமர் பொருளாக, எபோக்சி பிசின் குறைந்த சுருக்க விகிதத்துடன் குணப்படுத்த எளிதானது, ஆனால் வெப்ப கடத்துத்திறன் அதிகமாக இல்லை.சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்ட AlN நானோ துகள்களை எபோக்சி பிசினுடன் சேர்ப்பதன் மூலம், வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வலிமையை திறம்பட மேம்படுத்த முடியும்.
